加熱防腐型勻膠機  測試標準

加熱防腐型勻膠機  測試標準

加熱防腐型勻膠機

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一、技術原理與核心參數

加熱防腐型旋轉塗覆儀采用聚四氟乙烯腔體，外觀美觀堅固，具有優良的化學穩定性和的耐腐蝕性，能夠用於各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。儀器采用先進的精密電機，轉速能達到 12000 轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋塗功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到 200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升溫過程可控。另外本儀器采用觸控屏控製，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。

二、關鍵性能參數

三，應用領域

‌光電子學領域‌：用於製備太陽能電池、有機發光二極管（OLED）、有機太陽能電池（OPV）等器件的薄膜塗層‌；

‌半導體與微電子製造‌：適用於光刻膠旋塗、晶圓表麵塗布等工藝，支持最大12英寸晶圓處理‌；

‌材料科學‌：可製備金屬、半導體、氧化物及聚合物等材料的均勻薄膜，尤其適合需要抗酸堿和有機溶劑的實驗環境‌；

‌生物醫學領域‌：用於生物傳感器、生物芯片的塗層製備，聚四氟乙烯腔體設計確保化學穩定性與耐腐蝕性‌；

‌納米科技‌：支持納米材料與納米薄膜的製備，高精度控溫（室溫-200℃）和轉速調節（10-12000轉/分鍾）保障工藝穩定性‌。

四、基礎操作流程

‌A安裝與準備‌

‌連接設備‌

連接真空泵氣管與電源線，確保螺帽擰緊‌。

插入設備電源線並打開總開關‌。

‌安裝吸盤與片托‌

根據樣品尺寸選擇吸盤，對準槽口安裝並固定螺絲‌。

將片托凹槽對準電機軸頂絲垂直放置‌。

B參數設置‌

‌選擇勻膠方案‌

進入操作界麵，選擇預設方案（如5段式參數）或自定義參數‌。

‌設置轉速、時間與加速度‌

示例：第一段速度2000轉/分鍾，時間20秒，加速度2000‌1。

分段設置（如第二段3500轉/分鍾，第三段10000轉/分鍾）‌。

‌溫度控製（如需加熱）‌

設置溫度範圍（0-200℃），支持手動或自動加熱模式‌。

C旋塗操作‌

‌放置樣品‌

將基片居中放置於片托，啟動真空泵吸附固定‌。

‌啟動勻膠‌

轉速穩定後注入膠液，程序自動分段執行‌。

‌完成與清潔‌

等待轉速歸零，關閉真空泵並取出樣品‌。

定期清潔抽氣孔（滴酒精維護）‌。

D注意事項‌

‌防腐設計‌：聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕，避免接觸強氧化劑‌。

‌安全防護‌：加熱模塊高溫，操作時勿觸碰‌。

五、合規性要求（核心標準）

六、儀器特點

‌1. 防腐設計‌

腔體材質采用‌聚四氟乙烯（PTFE）‌或‌聚丙烯（PP）‌，抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕‌。

部分機型配備‌防濺廢料罐‌和‌排液管‌，防止腐蝕性液體汙染環境‌。

‌2. 加熱與溫控功能‌

加熱範圍覆蓋‌室溫至200℃‌，控溫精度±1-2℃，適用於高溫工藝（如光刻膠烘烤）‌。

支持‌分段控溫‌，部分機型集成‌抽廢氣功能‌，確保工藝穩定性‌。

‌3. 高精度勻膠性能‌

轉速範圍‌10-20000轉/分鍾‌，電機采用無刷伺服或德國進口電機，保障薄膜均勻性（厚度誤差±1%）‌。

部分機型支持‌正反轉旋塗‌和‌分段編程‌，優化複雜工藝需求‌。

‌4. 智能化操作‌

配備‌觸摸屏控製‌、藍牙通信及PC端遠程控製軟件，支持配方存儲與掉電保護‌。

實時顯示‌轉速曲線‌、吸附力及報警功能（如進膠保護、吸附不足互鎖）‌。

‌5. 安全與兼容性‌

透明耐腐蝕蓋板（丙烯酸材質）隔絕有毒氣體，部分機型適配手套箱使用‌。

適配半導體、光電子等領域‌。

七，配置清單

主機1台；

測試軟件1套；

說明書1份;

合格證1份;

保修卡1份;

簽收單1份;

銘牌1塊;

電源線1根;

扳手1套;

宣傳冊若幹;